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單晶硅片

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詳細信息  
晶片規格
 
生長方式 CZ 少子壽命
(μs)
P:≧15
N:≧100
導電類型 P / N 位錯密度
(Etch Pit Density) (/cm2)
≦3000
摻雜物 硼 / 磷 邊長
(mm)
Φ6":125±0.5 
Φ6.5":125±0.5 
Φ8":156±0.5
單晶晶向
(Degree)
<100>±3 對角線長
(mm)
Φ6":150±0.5
153±0.5
Φ6.5":165±0.5
Φ8":200±0.5
電阻率
(Ω.cm)
P: 0.5~3, 3~6
N: 0.5~3, 0.6~3.5
片厚
(μm)
180±20
氧含量
(atoms / cm3)
P:≦1X1018
N:≦0.95X1018
TTV
(μm)
≦30
碳含量
(atoms / cm3)
≦5X1016 翹曲度
(μs)
≦40
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