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[新品] 自動溫控加熱板NHP-320(NHP-320)

供應商參考報價:¥40000
  供應商信息
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聯系人: 陳永林
所在城市: 廣東省 深圳
詳細地址: 深圳市寶安區西鄉河東第一工業區
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詳細信息  

1、              設備名稱與型號:自動溫控加熱板NHP-320

2、              設備外觀圖:(見圖)

3、              設備概要:本設備可以同時加熱302wafer,片子通過PIN升降達到所有wafer加熱時間相同,克服因人工夾放wafer造成的工藝不穩定問題。

4、              設備規格:

1)         基板尺寸:2wafer

2)         Through Put30/run

3)         溫度范圍:20~150(Plate表面)

4)         HP材質:AL+SALW(陽極處理)+Silastic Heater

5)         加熱面尺寸:(W×D×H) 510×430×12(mm)

6)         溫度分布:90 ±1120℃±1

7)         溫度SensorPT100型熱電偶;

8)         溫度表示:溫度調整器Digital表示;

9)         控制方式:Digital溫度調整器+SSRPID);

10)    設備外面尺寸:(W×D×H) 566×486×170(mm)

11)    設備凈重:30Kg

5、             設備運作流程:

1.查看設備外觀無運輸破損后,將電源線插入~220V接線板插坐;插上供氣管

2.打開電源開關,設備自檢初始化,頂針(PIN)頂起

3.設置加熱溫度;設置工作時間

4.放上待加熱晶片

5.按開始鍵,頂針下落,晶片落下,貼緊加熱板,開始加熱,時間繼電器開始計時

6.時間到,頂針(PIN)同時頂起晶片,所有晶片同時離開熱板不再加熱,蜂鳴器響起提醒工作人員取下加熱均勻的晶片。

7.工作過程中,遇突發事件,可按停止按健,頂針立即頂起晶片,停止加熱,時間繼電器復位,方便隨時進行人工干預。

6、              廠務要求:

 

項次

項目

內容

容量

備注

1

電源

AC 220V

15A 50Hz

 

2

CDA

>6Kg

穩壓1.5Kg

 

3

供氣管

φ8mm

3Kg~10Kg

 

 

7、              產品優勢:

a)       30/run,產能優勢;

b)    Silastic Heater溫度均勻性更高。

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